Precisielagers, Draaiverbindingen en Lineaire geleiders voor halfgeleidertechnologie en cleanroomautomatisering

Nauwkeurigheid & betrouwbaarheid

In de halfgeleidertechniek zijn precisie, geschiktheid voor cleanrooms en procesbetrouwbaarheid bepalend voor de productkwaliteit en de rendabiliteit. Of het nu gaat om waferhandling, lithografie, inspectiesystemen of cleanroomautomatisering – moderne installaties voor de chipproductie stellen de hoogste eisen aan elk afzonderlijk onderdeel.

Franke ondersteunt OEM’s en installatiebouwers met innovatieve Draadlagers, Draaiverbindingen en Lineaire geleiders, die speciaal zijn ontwikkeld voor uiterst nauwkeurige bewegingstaken. Dankzij hun compacte ontwerp, hun lage gewicht en hun hoge integratievermogen dragen ze ertoe bij dat machines krachtiger, efficiënter en rendabeler worden.

Halfgeleidertechnologie & chipproductie

De productie van moderne halfgeleiders vereist maximale processtabiliteit op microscopisch niveau. Tegelijkertijd worden de eisen op het gebied van dynamiek, automatisering en rendabiliteit steeds hoger. Ontwerpers en installatiefabrikanten staan daarom voor de uitdaging om uiterst nauwkeurige bewegingen onder complexe omgevingsomstandigheden veilig en reproduceerbaar uit te voeren.

Eisen voor cleanrooms en contaminatie
Zelfs de kleinste deeltjes kunnen de kwaliteit van gevoelige productieprocessen aantasten. Componenten moeten daarom geschikt zijn voor de cleanroom, een lage emissie hebben en bijdragen aan het voorkomen van contaminatie.
Hoogste precisie en herhaalbaarheid
Bij wafer-handlingsystemen, inspectie-installaties of lithografiesystemen is exacte positionering van cruciaal belang. Er wordt gevraagd om minimale rondloopafwijkingen, de hoogste herhaalbaarheid en duurzaam stabiele bewegingspatronen.
Dynamische bewegingen en korte cyclustijden
Moderne productielijnen moeten een hoge doorvoer realiseren. Dit vereist hoge snelheden, sterke versnellingen en tegelijkertijd nauwkeurige en gecontroleerde bewegingen.
Beperkte inbouwruimte
De integratie van extra functies in steeds compactere machineontwerpen stelt hoge eisen aan het ontwerp en de componenten. Ruimtebesparende oplossingen worden een doorslaggevend concurrentievoordeel.
Maximale betrouwbaarheid
Stilstanden bij de chipproductie brengen hoge kosten met zich mee. Componenten moeten continu betrouwbaar functioneren, onderhoudskosten minimaliseren en een maximale beschikbaarheid van de installatie ondersteunen.
Rendabiliteit gedurende de gehele levenscyclus
Naast de technische prestaties winnen gewichtsvermindering, vereenvoudigde constructies en lage totale eigendomskosten steeds meer aan belang.

Onze oplossingen voor de halfgeleiderindustrie

Draadlagers Franke voor uiterst nauwkeurige bewegingstaken

Franke Draadlagers combineren een laag gewicht met een hoog draagvermogen en uitzonderlijke ontwerpvrijheid. Dankzij het beproefde Franke-principe worden de loopbanen onafhankelijk van de behuizing uitgevoerd, waardoor individuele geometrieën en klantspecifieke integraties mogelijk worden.

Uw voordelen

Hoge precisie bij roterende bewegingen
Minder bewegende massa’s
Geoptimaliseerde dynamiek en energie-efficiëntie
Compacte machineontwerpen
Individuele aanpassing aan cleanroom- en halfgeleidertoepassingen

Lineaire geleiders Franke voor dynamische positioneringstaken

Lineaire geleiders Franke maken nauwkeurige lineaire bewegingen mogelijk, in combinatie met een hoge dynamiek en een lange levensduur. Ze zijn geschikt voor talrijke toepassingen binnen de halfgeleidertechniek en de automatisering van cleanrooms.

Uw voordelen

Nauwkeurige positionering van wafers en assemblages
Hoge versnellingen
Korte cyclustijden
Op maat gemaakte uitvoeringen
Aanpassing aan specifieke omgevingsomstandigheden

Draaiverbindingen Franke voor grote diameters met hoge precisie

In inspectiesystemen, apparatuur voor de verwerking van wafers of robotica-oplossingen zorgen de draaikoppelingen van Franke voor uiterst nauwkeurige draaibewegingen, zelfs bij grote diameters.

Uw voordelen

Hoge rondloopnauwkeurigheid
Grote vrije ruimte in het midden voor kabel-, media- en procesgeleidingen
Laag gewicht ondanks grote afmetingen
Integratie van complexe modules
Optimale voorwaarden voor moderne installatiearchitecturen

Ontwerpvrijheid voor innovatieve machineontwerpen

Met aluminiumoplossingen, op maat gemaakte geometrieën en uitgebreide integratiemogelijkheden ondersteunt Franke constructeurs bij het realiseren van innovatieve machineconcepten.

Voordelen voor ontwikkelaars en ontwerpers